1. Metode magnetik
Metode magnetik untuk mengukur ketebalan lapisan lapisan adalah pengukuran non-destruktif dari lapisan lapisan non-magnetik pada substrat magnetik dengan pengukur ketebalan magnetik.
2. Mikroskop
Mikroskop disebut metallografi, yaitu untuk memperbesar pengencang terukir pada mikroskop metalografi dengan lensa mata mikrometer untuk mengukur ketebalan lapisan pada penampang.
3. Metode alur waktu
Metode aliran cair waktu menggunakan solusi yang dapat melarutkan lapisan mengalir pada permukaan lokal lapisan, dan menghitung ketebalan lapisan sesuai dengan waktu yang diperlukan untuk lapisan lokal untuk larut. Ada juga metode coating drop, metode coulomb pembubaran anodic, dll.
